双束聚焦离子束(FIB-SEM)是聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合系统，通过结合相应的气体沉积装置，纳米机械手，加载各种探测器及可控的样品台等附件成为一台集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。
搭载的能量色散X射线光谱仪（Energy Dispersive Spectroscopy, EDS）可完成对材料微区成分元素种类与含量的分析。
透射电子显微镜（TEM）是用波长很短的电子束作电子光源，用电子枪发射出的高速率和聚集电子束照射到很细的试样上，采集透射电子通过电磁透镜进行多级放大成像，具有高分辨和高放大倍数特性的电子光学仪器。
搭载的能量色散X射线光谱仪（Energy Dispersive Spectroscopy, EDS）可完成材料微区成分元素种类与含量的分析。
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